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低温等离子废气处理机理包含两个方面：一是在高压放电产生等离子体的过程中，高频放电所产生的瞬间足够打开一些有害气体分子的化学能，使之分解为单质原子或无害分子；二是等离子体由于是高压放电产生，其中包含大量的电子、正负离子、激发态粒子和具有强氧化性的自由基，这些活性粒子和部分臭气分子碰撞结合，在电场作用下，使臭气分子处于激发态。当臭气分子 获得的能量大于其分子键能的结合能时，臭气分子的化学键断裂，直接分解成单质原子或由单一原子构成得无害气体分子。同时产生的大量·OH、·HO2、·O 等活性自由基和氧化性极强的O3，与有害气体分子发生化学反应，终生成无害产物。
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